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技术供给名称:

硅基功率集成的可靠性关键技术与应用

供给名称: 硅基功率集成的可靠性关键技术与应用 关键字:
应用行业: 制造业 高新技术领域: 电子信息技术
所在地: 淄博市 知识产权类型:
知识产权编号: 成果体现形式:
成果属性: 成果所处阶段:
成果水平: 研究形式:
学科分类: 战略新兴产业:
课题来源: 第一完成单位名称:
第一完成单位属性: 技术成熟度:
合作方式: 其它 交易价格(万): 80
来源类型: 一般项目 浏览次数: 477
成果简介
本成果中,对硅基功率集成的可靠性关键技术进行了深入研究,系统性地构建了硅基功率集成的可靠性设计方法,基于项目核心研究成果,在无锡华润上华半导体有限公司成功建立了100V体硅、200V SOI及700V外延等多个高可靠的高压BCD工艺平台,并在苏州博创、无锡硅动力、深圳市明微及无锡芯朋等十余家公司的高压集成电路产品中实现量产。在功率集成器件的热载流子可靠性方面,创造性地提出了多种高热载流子可靠性的集成器件,包括带有阶梯栅氧化层的nLDMOS器件及带轻掺杂P型区的pLDMOS器件等;在功率集成器件的自保护可靠性方面,发明了带有“W”型缓冲层的SOI-nLIGBT器件和带有双埋层组合结构的SOI-nLIGBT器件等;在功率集成器件的安全工作区可靠性方面,提出了级联型功率SOI-nLIGBT器件、带有多晶硅二阶场极板的功率集成SOI-nLIGBT器件等;在功率集成电路隔离可靠性方面,提出了埋氧化层过刻蚀SOI深槽隔离结构及带有浮置岛状N阱的外延隔离结构等;除此之外,在提升功率集成器件高温反偏可靠性方面,还提出了表面带淡P阱、淡N阱交替排列的高压器件终端结构。以上功率集成可靠性关键技术的突破及产业化应用,有力地推动了我国高端功率集成电路的发展,增强了产品的国际竞争力,打破了国外大公司的垄断。
应用范围
前景分析
联系方式
联系人: 王梅 联系人职务: 技术交易部副主任
联系电话: 0533-3185807 QQ/MSN:
Email: 网址: http://www.ziboinfo.com.cn/
邮编: 255000 通讯地址: 淄博市张店区潘南西路18号甲1